耀泉-嵌入式管路消毒智能管理系統(tǒng)，專為半導體超純水輸送管網量身定制，以臭氧消毒為核心工藝，通過調控 臭氧濃度及微生物在線監(jiān)測實時消毒或預約消毒殺菌，消毒濃度嚴格遵循國際消毒濃度標準，實現(xiàn)輸送管網全流 程自動化消毒、實時監(jiān)測、殘留消解一體化管理。無需大規(guī)模改造現(xiàn)有管網，嵌入式設計可無縫適配各類管路布 局，解決傳統(tǒng)消毒方式效率低、操作繁、殘留風險高、監(jiān)測滯后等痛點，多方位保障超純水、純化水水質符 合行業(yè)嚴苛標準，為半導體芯片制造提供安全、合規(guī)、高效的管路消毒解決方案。

耀泉-嵌入式管路消毒智能管理系統(tǒng)系統(tǒng)功能

消毒效率：臭氧氧化能力是氯的2倍，契合國際消毒濃度標準，對大腸桿菌滅殺效率達6個數(shù)量級，快速殺滅各類微生物，清除生物膜，消毒響應快。

消毒殘留：消解效率≥99.9%，殘留臭氧≤0.02mg/L，無任何消毒副產物，無需額外沖洗，契合超純水、純化水水質要求。

自動化程度：全流程自動化運行，臭氧在線檢測、微生物在線監(jiān)測，自動啟停消毒、消解流程，無人值守，可遠程監(jiān)控，降低 人力成本，提高反應速度。

適配性：嵌入式模塊化設計，適配各種不同流量管網，貼合超純水（臭氧溶解效率85%-95%）、純化水（75%-85%）特性， 無需大規(guī)模改造。

合規(guī)性：嚴格遵循國際消毒濃度標準、FDA、EMA GMP Annex1等規(guī)范，監(jiān)測數(shù)據(jù)可追溯≥1年。

運維成本：無化學試劑消耗，能耗低，組件穩(wěn)定性強，運維簡單，可減少40%停機時間，長期運維成本低。

水質影響：無殘留、無副產物，不影響超純水電阻率、TOC指標，不改變純化水化學性質，保障出水水質穩(wěn)定達標。